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  • (Mask aligner(MA-6 III))
    모델명
    포토레지스트노광기, (부품)Karlsuss, DE/MA-6, 포토레지스트노광기부품
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • (Plasma Asher(tepla) MEMS)
    모델명
    300 Semi-auto
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Oxford PECVD
    모델명
    Plasma Pro 100 PECVD
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • (Wet station(No Bath Type))
    모델명
    AT-MWS-GOO
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • (Wet Station(CMOS))
    모델명
    AW04-01-03
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Wire Ball Bonder
    모델명
    4522
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • SRN sputter
    모델명
    SRN-120
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • CMOS Poly(Dry Etcher(CMOS Poly Etcher))
    모델명
    NeoGEN-MAXIS200L
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • CMOS ICP Metal Etcher
    모델명
    Apex SLR ICP
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Spin Coater
    모델명
    CEE 100
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -

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Guide table of search operators and examples
Operator Function
Space Search for data that contains both search terms.
lung cancer

→ Search for data that contains both "lung" and "cancer".
| Search for data that contains either of the two search terms (at least one).
lung | cancer

→ Search for data that contains either "lung" or "cancer".
! Exclude a specific term.
Exclude data that contains the search term following NOT.
lung !cancer

→ Search for data that contains "lung" but excludes "cancer".
[ ] Search for data that exactly matches the phrase within square brackets.
IUPAC name search, long phrase search
[lung cancer]

→ Search for data that exactly matches the phrase "lung cancer".
( ) Grouping/precedence operator for complex queries.
(bio (lung | cancer) )

→ Search for data that contains either "lung" or "cancer" and also contains "bio".
* Partial match using a wildcard.
Search for data that matches the pattern where * represents zero or more characters.
canc*

→ Search for data that contains terms starting with "canc", such as "cancer" or "cancers".

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