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  • Deep Si Etcher I
    모델명
    ICP Plasma silicon etcher(SLR 770110 RB)
    표준분류
    mechanical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Mini Furnace(MEMS)
    모델명
    Furnace,4＂.SMF80Furnace,4＂.SMF800.220V
    표준분류
    mechanical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Horizental Furnace(MEMS)
    모델명
    Furnace,SJF2000(Wet oxidation,POCL3 Doping,Annealing,Reflo)
    표준분류
    mechanical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Metal Sputter(Metal)
    모델명
    RF&DC Sputtering system,MHS1500
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • (PECVD and Dry Etcher(P-5000 II))
    모델명
    P-5000
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • (Wet station(MEMS))
    모델명
    AW09-10-01
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • (Wet station(MEMS))
    모델명
    WA-4
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Wavics Sputter
    모델명
    KVS-C200
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • HDPCVD II
    모델명
    APEX SLR HDPCVD
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • ICP Oxford(ICP Etcher(Oxford))
    모델명
    ICP Etcher, System100
    표준분류
    electrical
    기관명
    서울대학교 산학협력단
    기관 주소
    -
    문의처
    -

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Guide table of search operators and examples
Operator Function
Space Search for data that contains both search terms.
lung cancer

→ Search for data that contains both "lung" and "cancer".
| Search for data that contains either of the two search terms (at least one).
lung | cancer

→ Search for data that contains either "lung" or "cancer".
! Exclude a specific term.
Exclude data that contains the search term following NOT.
lung !cancer

→ Search for data that contains "lung" but excludes "cancer".
[ ] Search for data that exactly matches the phrase within square brackets.
IUPAC name search, long phrase search
[lung cancer]

→ Search for data that exactly matches the phrase "lung cancer".
( ) Grouping/precedence operator for complex queries.
(bio (lung | cancer) )

→ Search for data that contains either "lung" or "cancer" and also contains "bio".
* Partial match using a wildcard.
Search for data that matches the pattern where * represents zero or more characters.
canc*

→ Search for data that contains terms starting with "canc", such as "cancer" or "cancers".

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