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  • Deep Trench RIE(Si)
    모델명
    Multiplex ICP System
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • DEEP TRENCH RIE II
    모델명
    Omega LPX-DSi Etch System
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Plasma Deposition and Etching System
    모델명
    DUAL 790 SERIES
    표준분류
    chemical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Spin Rinse Dryer
    모델명
    VTI 4701S
    표준분류
    mechanical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Parylene packaging System
    모델명
    NPCR-400A
    표준분류
    mechanical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Film Thickness Metrology System
    모델명
    KT-22
    표준분류
    mechanical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Electroform Sys
    모델명
    SG101
    표준분류
    mechanical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Scanning Electron Microscope
    모델명
    TS5136MM/EDS
    표준분류
    optical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Furnace Polysilicon dep
    모델명
    SV-ICS305B
    표준분류
    mechanical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • Electron Beam Lithography System
    모델명
    Raith 150-two
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국과학기술연구원
    기관 주소
    -
    문의처
    -

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Guide table of search operators and examples
Operator Function
Space Search for data that contains both search terms.
lung cancer

→ Search for data that contains both "lung" and "cancer".
| Search for data that contains either of the two search terms (at least one).
lung | cancer

→ Search for data that contains either "lung" or "cancer".
! Exclude a specific term.
Exclude data that contains the search term following NOT.
lung !cancer

→ Search for data that contains "lung" but excludes "cancer".
[ ] Search for data that exactly matches the phrase within square brackets.
IUPAC name search, long phrase search
[lung cancer]

→ Search for data that exactly matches the phrase "lung cancer".
( ) Grouping/precedence operator for complex queries.
(bio (lung | cancer) )

→ Search for data that contains either "lung" or "cancer" and also contains "bio".
* Partial match using a wildcard.
Search for data that matches the pattern where * represents zero or more characters.
canc*

→ Search for data that contains terms starting with "canc", such as "cancer" or "cancers".

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