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  • [FR-IE10]ICP Etcher(R&D) I
    모델명
    Multiplex ICP
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • [FR-IE20]ICP Etcher(R&D) II
    모델명
    Multiplex ICP
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • [FR-IE30]ICP Etcher(R&D) III
    모델명
    ICP380
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • [FR-IE40]ICP Etcher(R&D) IV
    모델명
    Multiplex ICP
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • [FR-LO10]Laser Lift-Off
    모델명
    ELMS-1000
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • [FR-OT10]Optical Thickness Measure System
    모델명
    ST5030-SL
    표준분류
    mechanical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • [FR-PL20]Cu/Ni Plating Machine
    모델명
    SW-PM4-R4-Q2
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • [FR-SF10]Surface scan profiler
    모델명
    Tencor P15
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • [FR-SS10]Stress measurement sysytem
    모델명
    500TC
    표준분류
    mechanical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -
  • [FR-WS10]Acid Wet-station(R&D)
    모델명
    Acid Wet Station
    표준분류
    electrical
    기관명
    한국나노기술원
    기관 주소
    -
    문의처
    -

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Guide table of search operators and examples
Operator Function
Space Search for data that contains both search terms.
lung cancer

→ Search for data that contains both "lung" and "cancer".
| Search for data that contains either of the two search terms (at least one).
lung | cancer

→ Search for data that contains either "lung" or "cancer".
! Exclude a specific term.
Exclude data that contains the search term following NOT.
lung !cancer

→ Search for data that contains "lung" but excludes "cancer".
[ ] Search for data that exactly matches the phrase within square brackets.
IUPAC name search, long phrase search
[lung cancer]

→ Search for data that exactly matches the phrase "lung cancer".
( ) Grouping/precedence operator for complex queries.
(bio (lung | cancer) )

→ Search for data that contains either "lung" or "cancer" and also contains "bio".
* Partial match using a wildcard.
Search for data that matches the pattern where * represents zero or more characters.
canc*

→ Search for data that contains terms starting with "canc", such as "cancer" or "cancers".

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