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([FC-AM10]AFM I)

모델명

XE100, XE150 (PSIA)

표준분류

optical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-
[FR-RT10]RTA I

모델명

RTA-150H SP1

표준분류

electrical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-
([FR-PE10]PE(HDP)-CVD)

모델명

HiDep

표준분류

electrical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-
([FR-IE60]Deep etcher VI (R&D))

모델명

AMS 200

표준분류

electrical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-
[FR-FB10]Wafer Bonder

모델명

Tbon-100

표준분류

electrical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-
[FL-SC20]Spin Coater II

모델명

DA-1020

표준분류

mechanical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-
[FF-PE20]PECVD II

모델명

PECVD

표준분류

electrical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-
[FF-PE10]PECVD I

모델명

PECVD

표준분류

electrical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-
[FR-LP10] Laser Profiler

모델명

VK-250K/2260K

표준분류

mechanical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-
([FR-EB30]E-beam evaporator III (R&D))

모델명

ULTEC

표준분류

electrical

기관명

한국나노기술원

기관 주소

-

문의처

-

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Help FAQ

Operator	Function
Space	Search for data that contains both search terms.
Space	lung cancer → Search for data that contains both "lung" and "cancer".
\|	Search for data that contains either of the two search terms (at least one).
\|	lung \| cancer → Search for data that contains either "lung" or "cancer".
!	Exclude a specific term. Exclude data that contains the search term following NOT.
!	lung !cancer → Search for data that contains "lung" but excludes "cancer".
[ ]	Search for data that exactly matches the phrase within square brackets. IUPAC name search, long phrase search
[ ]	[lung cancer] → Search for data that exactly matches the phrase "lung cancer".
( )	Grouping/precedence operator for complex queries.
( )	(bio (lung \| cancer) ) → Search for data that contains either "lung" or "cancer" and also contains "bio".
*	Partial match using a wildcard. Search for data that matches the pattern where * represents zero or more characters.
*	canc* → Search for data that contains terms starting with "canc", such as "cancer" or "cancers".

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