산업 지원
시설/장비
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[FS-BC10] Wafer Backside Cleaner
- 모델명
- ASTRO2013-AWB1NN
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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[FS-EP10] Cu Plating Machine for Damascene
- 모델명
- Solstice S4
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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[FS-OL10] Overlay Metrology System
- 모델명
- OL-100n
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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[FS-SP20] Evatec Sputter
- 모델명
- CLN-200II
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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[FS-SP10] Endura Sputter
- 모델명
- E5500
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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[FS-WP10] W / plasma CVD
- 모델명
- Centura 5200 Sprint
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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[FL-CA70]Automated Mask Aligner IV (8 inch)
- 모델명
- MA200compact
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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[FF-DE20]RIE II (foundry)
- 모델명
- P5000
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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[FF-PE30]PECVD III (foundry)
- 모델명
- P5000
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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[FE-MC10] MOCVD I
- 모델명
- 200/4 RF
- 표준분류
- 전기/전자장비
- 기관명
- 한국나노기술원
- 기관 주소
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- 문의처
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